氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。

氪分析用氦离子色谱仪参考：GB/T 5829-2006氪气项目

指标

高纯氪

纯氪

一等品

合格品

氪气（Kr）（体积分数）/10-2

≥

99.999

99.995

99.99

氮（N2）（体积分数）（N2）/10-6

≤

2

8

20

氧（O2）+氩（Ar）（体积分数）/10-6

≤

1.5

5

5

氢（H2）（体积分数）/10-6

≤

0.5

1

2

一氧化碳（CO）（体积分数）/10-6

≤

0.3

0.4

1

二氧化碳（CO2）（体积分数）/10-6

≤

0.4

0.8

1

甲烷（CH4）（体积分数）/10-6

≤

0.3

0.8

1

水分（H2O）（体积分数）/10-6

≤

2

3

5

氙气（Xe）（体积分数）/10-6

≤

2

20

50

氟化物（CF4）（体积分数）/10-6

≤

1

10

15