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出售日本speedfam16B双面抛光机-晶圆片研磨机

2020-10-08 01:54:01  283次浏览 次浏览
价 格:75000

工厂低价转让12SPEEDFAM日本16B/20B/28B双面研磨机 抛光机

驱动方式:全自动

类型:转轴

工作方式:涡轮研磨机

研磨盘尺寸1112*380*50 1145*349*50

小研磨厚度:0.2mm 研磨厚度:50mm

游星轮片数量:5片 研磨直径:330

下磨盘转速:0-60/rp 过滤干燥汽源: 0.4-0.6mpd

游轮参数:英制:Z=200DP12 主电机:380V/15KW/1460rpm

下研磨盘跳动:0.05 修正轮修正平行度:<0.005

太阳轮径向跳动:0.12 内齿圈径向跳动:0.2

标配修正轮5个 水泵: 0.15KW

外形心尺寸:2300*1800*2800 机器重量:6500KG

SPEEDFAM-16B双面研磨机适用范围

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